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SJ6000激光干涉仪

SJ6000激光干涉仪

产品风格:一键测量仪
产品简介:SJ6000激光干涉仪...

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详情介绍

1. 产品简介

  激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,在高端制造领域应用广泛。

  SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现最高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

  SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

2.产品配置

  SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台

  其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。

二.工作原理

  激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

  若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

 

三. 产品功能特点

精度高

  SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

功能广

  ● 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

  ● 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

  ● 可实现龙门机床双轴同步测量;

  ● 可实现对机床回转轴的测量与校准;

  ● 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

  ● 具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

  ● 支持手动或自动进行环境补偿。

软件强

  ●  友好的人机界面;

  ●  丰富的应用功能模块;

  ●  向导式的操作流程;

  ●  简洁化的记录管理;

  ●  支持中文、英文和俄文界面;

         ● 支持企业专属模板定制。

四. 技术指标

4.1. 技术指标

 系统性能

    1、测量方式:单频

    2、稳频精度:0.05ppm

    3、动态采集频率:50 kHz

    4、预热时间:5-10分钟

    5、工作温度范围:0~40℃

    6、环境温度范围:0~40℃

       7、存储温度范围:-20℃~70℃


 环境补偿示值误差

    1、空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

        2、材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

    3、空气湿度传感器:±6% (0-95%)

    4、大气压力传感器:±1mBar (650-1150mbar)

 

   线性测量

    1、测量距离:0-40m

    2、测量精度:0.5ppm (0-40℃)

    3、测量分辨率:1nm

    4、测量最大速度:4m/sec

 

   角度测量

    1、轴向量程:0-15m

    2、测量范围:±10°

    3、测量精度:±0.6%R±0.5±0.1M μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)

    4、测量分辨率:0.1μm/m

 

   直线度测量

    1、轴向量程:0.1-4.0 m

    2、测量范围:±2.5 mm

    3、测量精度:±0.5% R±0.5±0.15M2 μm(M为光学镜移动距离,单位:m)

    4、测量分辨率:0.01μm

 

   垂直度测量

    1、测量范围:±3/M mm/m

    2、测量精度:±0.5% R±2.5±0.8M μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)

    3、测量分辨率:0.01μm/m

 

   平面度测量

    1、轴向量程:0-15 m

    2、测量范围:±1.5 mm

    3、测量精度:±0.6% R±0.02 M2 μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)

    4、测量分辨率:0.1μm

 

   回转轴分度精度测量

    1、角度测量范围:0-360°

    2、精密转台角度增量:5°

    3、精密转台分度精度:±1秒

    4、精密转台重复性:0.2秒

 

4.2. 尺寸重量与供电

    便携箱尺寸:560×360×250(基础系统),560×460×270(完整系统)

    基本重量(含三脚架,包装):15Kg

    供电电源:110~265VAC

 

 5. 系统组件

5.1. 系统组件

1) SJ6000主机:1台

2) 环境补偿单元:1台

3) 光学镜组:

线性测量光学镜组:1套(标准配置)

小型线性光学镜组:1套(标准配置)

      小角度测量光学镜组:1套(选配)

      直线度测量光学镜组:1套(选配)

      垂直度测量光学镜组:1套(选配)

      平面度测量辅助附件:1套(选配)

回转轴测量精密转台:1套(选配)

4) 测量软件:1套

5) 便携式笔记本电脑:1台

6) 便携式仪器配件箱:1个

7) 通用三脚架:1个

8) 云台附件:1套

9) 磁性表座:2套

10)  产品使用说明书:1套

11)  产品合格证、保修卡:1套

12)  免费保修:1年

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