产品概述:
落地式结构,一体化多层防震结构
3000系列推出的最新系列机台,外观更加美观大气,抗振效果更佳。
搭载温度传感器
仪器搭载了温度传感器,软件界面实时显示外界温度,可监控仪器在不同温度状态下的精度表现。
大量程高精度轮廓传感器
自主研发宽范围粗糙度传感器
粗糙度测量·高分辨率传感器
指示精度:≤±(5nm+2.5%)
产品参数:
项目 | 规格 | |
测量范围 | X轴 | 0-220mm可选 |
Z轴 | 0-620mm可选 | |
Z1轴 | C:0-±30mm可选/R:±620μm | |
Z1轮廓指示精度 | ≤±(0.6+|0.1H|)μm | |
Z1粗糙度指示精度 | ≤±(5nm+2.5%) |